순도 99.999% 반도체 세정제…켐트로닉스, 국산화 길 열었다

극자외선(EUV)용 포토레지스트, 불화수소, 불화폴리이미드. 일본이 2019년 한국 수출 규제 카드를 꺼내 든 반도체·디스플레이 핵심 소재 3종이다. 이 중 포토레지스트는 불화수소, 불화폴리이미드와 달리 국산화가 더뎠다. 포토레지스트에서 큰 비중을 차지하는 용제(솔벤트)를 초고순도로 생산하는 게 어려웠기 때문이다. 코스닥시장 상장 중견기업 켐트로닉스가 이 난제를 해결해 주목된다. 김응수 켐트로닉스 대표는 “EUV 노광 공정에서 핵심 재료인 포토레지스트를 구성하는 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산(PGMEA)을 순도 99.999%(5N)로 시생산하는 데 성공했다”며 “2024년 상반기부터 본격 양산�...

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